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热成像显微镜
热成像显微镜用于微米级器件的热能分析，用于微器件热规则的确立，具有灵敏度高，光学分辨率低等优点。广泛应用于MEMS检测，化学，生物学，材料科学，矿物学
可见+红外
同时查看样品采集和视觉图象，样品观看和采集特征允许技术人员预览谱图的同时观看样本，确保准确的采样位置从而保证了光谱图的质量。
双光观察
提供了高品质的光学和红外表现，好的红外显微镜既提供了良好的光学(白光)性能以便使用者观察样品，又提供了良好的光谱学性能，从而获得高质量的谱图。
光路特点
一般采用直射光路系统，只使用一个光阑，这样可以使衍射光减到最小。允许技术人员采集极小的样品时不受周围基质的干扰。
基本参数
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